一文介紹ICP-MS三大機型產(chǎn)品矩陣深度解讀

一、公司背景：二十年深耕，鑄就國產(chǎn)質(zhì)譜前進力量  

北京萊伯泰科儀器股份有限公司成立于2002年，是一家專業(yè)從事實驗分析儀器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技型企業(yè)。自成立以來，公司始終聚焦環(huán)境檢測、半導(dǎo)體分析、生命科學(xué)等國家重點領(lǐng)域，構(gòu)建了從樣品前處理到智能檢測的全鏈條解決方案。截至目前，萊伯泰科產(chǎn)品已服務(wù)全球90多個國家和地區(qū)，累計服務(wù)3萬余家客戶。  

在電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）領(lǐng)域，萊伯泰科憑借在分析儀器設(shè)備領(lǐng)域二十年的積淀，推出了電感耦合等離子體質(zhì)譜儀LabMS3000ICP-MS，正式進軍半導(dǎo)體、生命科學(xué)、新能源以及各傳統(tǒng)行業(yè)。2021年5月20日，萊伯泰科憑借自研ICP-MS——LabMS3000成功“破圈”，直指半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用，打破了該領(lǐng)域長期被進口品牌壟斷的僵局。從2021年的LabMS3000到2026年的全鏈智造系統(tǒng)，萊伯泰科用五年時間完成了從追隨到品牌躍遷。  

二、產(chǎn)品矩陣：三大主力機型，覆蓋多元應(yīng)用場景  

萊伯泰科目前已形成三大自研ICP-MS機型矩陣：LabMS3000（單四極桿通用型）、LabMS3300（高基體專用型）和LabMS5000（三重四極桿串聯(lián)質(zhì)譜旗艦型）。  

（一）LabMS3000——開疆拓土的先鋒之作  

LabMS3000是萊伯泰科自主研發(fā)的高性能單四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。該產(chǎn)品采用工業(yè)標準27.12MHz全固態(tài)RF發(fā)生器，具有高的穩(wěn)定性，冷、熱等離子體可快速穩(wěn)定切換，確保儀器24小時不間斷安全穩(wěn)定運行以及檢測數(shù)據(jù)的可靠性。  

在抗干擾能力方面，LabMS3000采用新一代六極桿碰撞/反應(yīng)池技術(shù)，使用單一高純氦氣即可有效消除多原子離子等質(zhì)譜干擾，無需氣體切換和模式切換，極大節(jié)約了分析時間。其檢測器采用脈沖、模擬雙模式同時型電子倍增器，可在一次運行中實現(xiàn)常量元素（數(shù)百或數(shù)千ppm）與痕量元素（ppt或亞ppt級）的直接分析。  

LabMS3000憑借優(yōu)良的性能、穩(wěn)定的品質(zhì)以及出色的市場口碑，榮獲“國產(chǎn)好儀器”稱號。它先實現(xiàn)了國產(chǎn)ICP-MS在半導(dǎo)體頭部企業(yè)芯片生產(chǎn)線端的驗證與應(yīng)用。  

（二）LabMS3300——直面復(fù)雜基體的升級之作  

全新升級的LabMS3300ICP-MS不僅延續(xù)了萊伯泰科明星產(chǎn)品的穩(wěn)定性，更在檢測靈敏度與可靠性上實現(xiàn)了質(zhì)的飛躍。它集成了多項針對性創(chuàng)新技術(shù)，直面高基體、復(fù)雜樣品分析時的各種硬核挑戰(zhàn)。  

其核心技術(shù)包括：快速匹配離子源，為分析各種復(fù)雜基體時提供穩(wěn)定可靠的離子化效率；氬氣在線稀釋與氬氣加濕技術(shù)，在樣品引入端即可自動將高鹽基體稀釋至錐口耐受范圍，保證大批量樣品連續(xù)運行的信號穩(wěn)定性；三重離子提取技術(shù)，在有效提高待測元素靈敏度的同時改善離子聚焦、降低基體效應(yīng)；新一代碰撞反應(yīng)池技術(shù)，高效消除高基體帶來的復(fù)雜多原子離子干擾，即使在超高TDS條件下，As、Se、Cd等關(guān)鍵毒理元素仍可獲得極佳的的檢出能力。  

（三）LabMS5000——國產(chǎn)三重四極桿的旗艦

LabMS5000是萊伯泰科在獲得用戶廣泛贊譽的LabMS3000基礎(chǔ)上推出的全新一代三重四極桿串聯(lián)質(zhì)譜儀（ICP-MS/MS）。該產(chǎn)品具有單四極桿和串聯(lián)四極桿兩種工作模式，可根據(jù)不同應(yīng)用需求靈活選擇。  

核心技術(shù)指標方面：背景噪音在<0.5cps(4.5amu220.5amu)；質(zhì)量范圍覆蓋2-290amu。LabMS5000采用MS/MS模式實現(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準去除質(zhì)量干擾離子，從而獲得更低的檢出限和準確的超痕量分析結(jié)果。  

該產(chǎn)品通過了國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會的SEMIS2認證，這是國產(chǎn)ICP-MS在國際半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域獲得的重要認可。2025年，LabMS5000入選北京市重大技術(shù)裝備目錄，標志著國產(chǎn)ICP-MS在重大技術(shù)裝備領(lǐng)域的又一重要突破。憑借的技術(shù)性能，LabMS5000已成功進入我國多家芯片、光伏和面板頭部生產(chǎn)企業(yè)，被廣泛應(yīng)用于硅材料、電子濕化學(xué)品、光刻膠、高純PFA、CMP拋光液以及化合物半導(dǎo)體等多個半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)。  
 

三、核心技術(shù)：自主創(chuàng)新的硬核實力  

（一）射頻發(fā)生器系統(tǒng)  

萊伯泰科ICP-MS全系列采用工業(yè)標準27.12MHz全固態(tài)射頻發(fā)生器。該發(fā)生器功率在500W至1600W范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，功率波動小于±0.1%。支持常溫1600W常規(guī)模式和500W冷等離子體模式，后者特別適合高純材料及堿金屬的超低含量檢測。全固態(tài)設(shè)計帶來了高的系統(tǒng)穩(wěn)定性和可靠性，確保儀器可以長時間不間斷安全運行。  

（二）干擾去除技術(shù)  

從LabMS3000的六極桿碰撞/反應(yīng)池技術(shù)，到LabMS5000的串聯(lián)四極桿MS/MS模式，萊伯泰科構(gòu)建了層次化的干擾去除技術(shù)體系。MS/MS模式能夠?qū)崿F(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準去除質(zhì)量干擾離子，可有效去除多原子和雙電荷干擾，準確測試復(fù)雜基體樣品中痕量元素的含量。在地質(zhì)與礦產(chǎn)領(lǐng)域，LabMS5000可使用“化學(xué)分辨”來解決同質(zhì)異位素干擾，直接分離同質(zhì)異位素重疊（如²??Hg與²??Pb、??Rb與??Sr等）。  

（三）智能軟件平臺  

萊伯泰科自主研發(fā)的HiMass智能工作站，采用一鍵式、向?qū)健⒛K化設(shè)計，界面簡潔直觀，易學(xué)易用。該軟件平臺具備一鍵自動調(diào)諧、方法向?qū)Ш蛿?shù)據(jù)分析工具等功能，讓復(fù)雜分析變得簡單高效。  

（四）安全防護與可靠性  

萊伯泰科ICP-MS產(chǎn)品擁有可靠的安全配置，包括EMO（緊急停止）及Interlock（聯(lián)鎖）等。LabMS5000更是通過了SEMIS2認證，多達十重安全防護配置，帶來全面可靠的安全防護，保證儀器長時間安全可靠運行。  

四、應(yīng)用領(lǐng)域：從環(huán)境監(jiān)測到半導(dǎo)體制造  

萊伯泰科ICP-MS系列產(chǎn)品的應(yīng)用覆蓋多個重要行業(yè)領(lǐng)域。  

環(huán)境領(lǐng)域：可用于地下水、地表水、海水、廢水、飲用水、土壤、固廢樣品、空氣和廢氣等環(huán)境樣品中各類元素分析。LabMS3300可滿足HJ700-2014《水質(zhì)65種元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》等標準要求。  

食品領(lǐng)域：可用于各類食品中多元素分析及質(zhì)量控制，滿足GB5009.268等多項食品安全國家標準。LabMS5000可有效去除多原子和雙電荷干擾，準確測試所有食品樣品中痕量的砷、硒以及其他元素。  

制藥領(lǐng)域：用于中藥材、化學(xué)藥、藥用輔料中重金屬及元素雜質(zhì)測定。MS/MS模式可有效消除中藥材等復(fù)雜基體帶來的質(zhì)譜干擾。  

醫(yī)療領(lǐng)域：用于血液、尿液、毛發(fā)等生物樣品中常量元素、微量營養(yǎng)元素、重金屬的檢測以及人體藥物濃度監(jiān)測。LabMS5000的反應(yīng)模式還可精準測量蛋白質(zhì)中的S、P元素含量。  

半導(dǎo)體領(lǐng)域：可用于超純水、濕電子化學(xué)品、電子特氣、硅片、多晶硅、光刻膠等雜質(zhì)元素檢測。LabMS5000憑借高靈敏度、低檢測限及優(yōu)異的抗干擾能力，可精準檢測濕電子化學(xué)品中痕量金屬雜質(zhì)。  

此外，產(chǎn)品還廣泛應(yīng)用于疾控衛(wèi)生、地質(zhì)與礦產(chǎn)、公安司法、材料科學(xué)、能源與化工等領(lǐng)域。  

五、從單品到全鏈：智能化全流程解決方案  

2026年5月20日，萊伯泰科發(fā)布了年度核心創(chuàng)新成果——EvoLab智能化全流程元素分析系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了超級微波消解儀、液體定容稀釋進樣系統(tǒng)和全新一代ICP-MS（LabMS3300），真正實現(xiàn)了從稱樣、加酸到消解，再到最終上機檢測的全流程閉環(huán)自動化。

六、國產(chǎn)替代進程與市場展望  

萊伯泰科ICP-MS系列產(chǎn)品目前已廣泛應(yīng)用于環(huán)保、疾控、海關(guān)商檢、半導(dǎo)體、醫(yī)療、大學(xué)院校等行業(yè)。2025年度，公司電感耦合等離子體質(zhì)譜儀系列產(chǎn)品實現(xiàn)銷售收入約3220萬元，占公司營業(yè)收入的8.03%。  

在半導(dǎo)體這一應(yīng)用領(lǐng)域，進口品牌目前仍處于主導(dǎo)地位，客戶對國產(chǎn)設(shè)備普遍持審慎態(tài)度，驗證周期較長。萊伯泰科正憑借“場景驅(qū)動創(chuàng)新”的戰(zhàn)略，圍繞半導(dǎo)體材料在線檢測等新興領(lǐng)域，開發(fā)高度適配本土需求的定制化儀器設(shè)備。公司目前已與多家半導(dǎo)體企業(yè)建立深度合作。  

在核心零部件方面，萊伯泰科質(zhì)譜儀產(chǎn)品的核心零部件主要通過外部采購或外協(xié)加工兩種方式獲取，其中真空泵、檢測器通過進口采購，離子源、控制系統(tǒng)等由公司自主研發(fā)設(shè)計，四極桿委托國內(nèi)上游廠商加工，軟件自主開發(fā)。